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        “國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)工廠”鬧烏龍 清華大學(xué)相關(guān)研究到底是什么?

        文|財(cái)新 劉沛林
        2023年09月21日 18:45
        清華大學(xué)2017年開啟的SSMB-EUV光源項(xiàng)目在全球來看仍是一項(xiàng)前沿的光學(xué)技術(shù)研究。目前僅從原理上驗(yàn)證了SSMB光源可應(yīng)用于EUV,距離真正能用于光刻系統(tǒng)仍有距離
        資料圖:北京,懷柔科學(xué)城高能同步輻射光源項(xiàng)目。近日,國(guó)家開發(fā)投資集團(tuán)下屬中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院有限公司發(fā)聲明稱,短視頻平臺(tái)熱傳的“國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)工廠”項(xiàng)目配圖為該院在北京懷柔建設(shè)的北京高能同步輻射光源項(xiàng)目(HEPS)。圖:視覺中國(guó)

          【財(cái)新網(wǎng)】受到網(wǎng)絡(luò)熱炒的“國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)工廠”被證實(shí)是一場(chǎng)烏龍。近日,國(guó)家開發(fā)投資集團(tuán)下屬中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院有限公司(下稱“中國(guó)電子院”)發(fā)聲明稱,短視頻平臺(tái)熱傳的“國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)工廠”項(xiàng)目配圖為該院在北京懷柔建設(shè)的北京高能同步輻射光源項(xiàng)目(HEPS)。該項(xiàng)目是國(guó)家“十三五”重大科技基礎(chǔ)設(shè)施,是中國(guó)第一臺(tái)高能量同步輻射光源,2019年就開始了建設(shè),將于2025年投入使用。

          據(jù)中國(guó)電子院介紹,HEPS項(xiàng)目是通過加速器將電子束加速到6GeV(十億電子福特,能量單位),然后注入周長(zhǎng)1360米的儲(chǔ)存環(huán)以光速維持運(yùn)轉(zhuǎn),電子束在儲(chǔ)存環(huán)的不同位置會(huì)沿偏轉(zhuǎn)軌道切線的方向,釋放出穩(wěn)定、高能量、高亮度的光,即同步輻射光。同步輻射光可穿透物質(zhì)、深入內(nèi)部進(jìn)行立體掃描,從分子、原子的尺度觀察微觀世界,相當(dāng)于一臺(tái)巨型X光機(jī),而并不是網(wǎng)傳的光刻機(jī)工廠。

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        責(zé)任編輯:覃敏 | 版面編輯:肖子何
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